下午两点，长光所主楼二层的大会议室里，坐满了人。
长方形的会议桌旁，“星河计划”光刻组的核心成员与协助单位代表齐聚一堂。
长光所陈光远副所长坐在主位，左侧是宋颜教授、吕辰、谢凯，以及光机所光学部、精密机械部的几位负责人。
右侧则是哈工大的周工、上海机床厂的刘工、武水院的赵工，以及他们所带领的技术骨干。
室内烟雾缭绕，茶香与烟草味混合在一起。
桌上摊满了图纸、技术报告、计算草稿。
每个人的面前都放着一个厚厚的笔记本，钢笔或铅笔夹在指间，随时准备记录。
陈光远清了清嗓子，环视一周：“各位同志，咱们开门见山。今天这个会，就是要确定集成电路制造的工艺路线和技术指标。宋教授带来了清华-红星团队的设计方案，我们光机所这边也把家底亮一亮，大家一起讨论，定个调子。”
他顿了顿，声音沉稳：“咱们的目标很明确：要在下一次百工联席会议，也就是明年四月之前，拿出中国第一块可用的集成电路。不是实验室里的玩具，是能实际工作、能验证设计思想的产品。”
宋颜教授微微颔首，从公文包里取出一个用牛皮纸仔细包裹的文件夹。
他解开系绳，将里面的图纸一份份取出，平铺在会议桌中央。
那是“红星一号”计算器的集成电路设计图。
“这是我团团队历时三个月完成的初步设计。”宋颜教授的声音平静，“考虑到当前国内工艺水平的现实，我们做了两个方案。”
宋颜教授拿起其中一套：“方案一，是理想状态下的单片机方案。将所有功能集成在一块芯片上。包括键盘输入编码、控制逻辑、数据存储、算术运算、输出解码和显示驱动。整个系统需要集成两千多个晶体管。”
图纸上，一个个逻辑门用标准的符号标注，之间的连线如蛛网般密集而有序。
运算器部分被重点标注，那里需要完成加减乘除四则运算，逻辑最为复杂。
会议室里响起一阵低低的吸气声。
两千多个晶体管代表的挑战，不仅仅是设计上的，更是制造上的。
“方案二，”宋颜教授拿起另一套图纸，“是模块化方案。将系统功能分解到四块独立的集成电路上。”
“第一块，输入编码与控制芯片，负责将键盘信号转换为二进制码，并产生基本的控制时序。大约需要五百个晶体管。”
“第二块，数据存储芯片，采用静态随机存储器结构，能暂存中间计算结果。约三百多个晶体管。”
“第三块，算术逻辑单元，这是计算器的核心，完成所有运算功能。设计规模最大，六百余个晶体管。”
“第四块，输出解码与显示驱动芯片，将二进制结果转换为七段数码管所需的驱动信号。规模最小，一百四十个晶体管左右。”
宋颜教授抬起头：“两个方案各有优劣。单片机方案集成度高，理论上性能更好、功耗更低，但对制造工艺的要求也最高。模块化方案虽然需要多芯片协同工作，接口复杂些，但单个芯片的规模小了，制造难度相对降低，也便于测试和调试。”
他看向陈光远：“陈副所长，这两个方案，以长光所目前的光刻能力，哪个更现实？”
所有人的目光转向陈光远。
陈光远戴上老花镜，俯身仔细查看图纸，特别是那些标注了最小线宽、晶体管间距的关键区域。
光学部的张工、精密机械部的王工也凑过来，三人低声交换着意见。
会议室里安静下来，大家点着香烟等着。
五分钟后，陈光远摘下眼镜，揉了揉眉心。
“宋教授，诸位同志，”他语气严谨，“我先说说我们这边的现状。”
他示意张工将一份实验报告分发给大家。
“这是我们最新一批曝光测试的结果。在玻璃基板上，我们目前能稳定实现的线宽是五微米。注意，是‘稳定实现’——指的是成品率能达到百分之六十以上，线条边缘相对整齐，断线率控制在可接受范围内。”
报告上的显微照片被传阅。吕辰接过一张，凑近细看。
照片是在金相显微镜下拍摄的，黑白影像，分辨率不算高，但足以看清细节。
那是一组平行线条测试图形，标尺显示线条宽度约五微米。
线条基本平直，但边缘有细微的锯齿状起伏，像是手绘时笔尖的抖动。
在线条交汇处，有明显的圆角，而不是理想的直角。
“陈副所长，两微米呢？”谢凯忍不住问。
陈光远苦笑：“实验室环境下，偶尔能做到。但成品率不到百分之十，而且批次之间波动极大。可能今天这炉参数调好了，出来几片不错的；明天同样的参数，一塌糊涂。”
他顿了顿，加重语气：“关键在于‘稳定’和‘可重复’。实验室里灵光一现的成功，对工业化生产没有意义。我们要的是今天能造出来，明天还能造出来，下个月、明年还能造出来。”
哈工大的周工点头：“陈副所长说到点子上了。我们搞机械的也是这个理儿。实验室里调出一台精度惊人的样机不难，难的是批量生产时，每一台都能达到那个精度。”
上海机床厂的刘工、武水院的赵工等人也表示认同。
陈光远等大家说完，回到图纸上：“所以回到宋教授的问题。以我们目前五微米的稳定工艺水平，这个单片机方案，两千多个晶体管，按照设计图中的晶体管尺寸和间距推算，需要至少两微米的线宽才能容纳得下。五微米的话，芯片面积会大到不现实，功耗、性能都会出问题。”
他指着第二个方案：“而这个模块化方案，最大的一块芯片是算术逻辑单元，六百多个晶体管。我们计算过，如果用五微米工艺，芯片面积大约四毫米见方，虽然比理想情况大，但在可接受范围内。其他几块芯片面积更小。”
他抬起头：“我的意见是：暂时放下对终极精度的追求，先专注于可用性和一致性。我们接受五微米线宽，甚至在某些非关键区域，可以放宽到十微米。重点保证这个精度能稳定、可重复地实现。用这个工艺，先把方案二的四块芯片造出来。”
会议室里沉默了片刻。
宋颜教授缓缓点头：“我同意陈副所长的判断。临行前，刘星海教授也表示，科研不能只盯着最理想的目标，更要看清脚下的路。要先解决‘有无’问题，再解决‘好坏’问题。”
他转向吕辰：“小吕是‘红星一号’的总设计，并且负责了芯片的定义和架构，你从应用角度，模块化方案能实现‘红星一号’的基本功能。”
吕辰起身行礼，走到会议室前沿的小黑板前，拿起粉笔。
“陈副所长，各位同志。从系统功能角度，模块化方案完全能够实现‘红星一号’的所有设计要求。”
他在黑板上画了一个简单的框图，四块芯片用方框表示，之间用箭头连接。
然后他从信号流开始，详细讲解了“红星一号”总体设计思路和各芯片单元的功能。
讲解完毕，吕辰总结道：“所以从功能完整性上说，模块化方案没有问题。唯一的代价是：因为分成了四块芯片，它们之间需要通过外部引线连接，这会引入额外的寄生电容和电阻，影响信号传输速度。同时，芯片面积总和比单片方案要大，功耗也会高一些。”
他顿了顿，语气坚定：“但这些代价，在现阶段是可以接受的。我们需要的是尽快验证集成电路设计的正确性，验证从图纸到硅片的整个制造流程是否可行。模块化方案降低了制造门槛，让我们有机会在明年四月前拿出实实在在的成果。”
陈光远连连点头：“说得好！先解决主要矛盾。我们现在的主要矛盾是什么？是集成电路在中国还是‘零’。我们要把这个‘零’突破，证明这条路走得通。至于性能优化、集成度提升，那是下一步的事。”
他看向哈工大的周工：“周工，你们机械部分，五微米精度的工作台，有把握吗？”
周工打开桌上的笔记本，翻到其中一页，上面密密麻麻记录着日期、温度、湿度、电压、工作台移动距离、实际定位误差、重复定位误差等数据。“陈副所长，这是我们团队过去半年积累的工作台测试数据。目前我们自研的蜗轮蜗杆传动工作台，在恒定温度、稳定供电的条件下，重复定位精度能做到正负三微米。”
他指着数据中的几处异常值：“但问题在于稳定性。你看这里，下午两点车间大功率设备启动时，电压有波动，误差就跳到八微米。这里，室温升高两度，热胀冷缩，误差又大了。”
周工合上笔记本，神情严肃：“所以我的想法和陈副所长一样：不追求极限精度，先保证基本可用。”
他加重语气：“而且这个精度要能持续，不能干两个小时就磨损超标。我们要做寿命测试，记录运行一千次、一万次后的精度衰减数据。根据数据改进设计，而不是凭感觉。”
上海机床厂的刘工也表示全力支持，当场就表示立即提供十套工作台传动部件，用于制造原型光刻机。
武水院的赵工分享了他们设计的‘三级稳压滤波’方案：第一级，用大功率稳压器将输入电压稳定在220伏±5%；第二级，给每台光刻机配独立的中功率稳压器，将波动压缩到±2%；第三级，在光刻机控制柜内部，再加一个小型精密稳压模块和Lc滤波电路，最终输出波动可以做到±0.5%。”
这个方案比不上理想的纯净电源，但胜在实施快、成本低。
这些肯定的回答，让会议室里的气氛明显活跃起来。
当目标从“追求完美”调整为“先做出可用的”，那些看似无解的问题，突然都有了现实的解决方案。
陈光远当即拍板，定下了先在五微米工艺站稳脚跟，再攻关两微米，进军亚微米的战略决定。
他对宋颜教授道：“宋教授，我们正式决定，‘星河计划’光刻组，第一阶段目标定为：采用五微米工艺，实现‘红星一号’模块化方案四块芯片的制造和系统集成。时间节点：明年四月百工联席会议前，拿出可工作的样品。”
宋颜教授没有丝毫犹豫：“我完全同意。清华大学和红星研究所这边，会全力配合。设计方案可以根据五微米工艺的要求进行微调，确保可制造性。”
这种“样机秀技术，量产见真章”的务实策略，得到了所有人的支持。
在量产中积累数据、改进工艺，比在实验室里憋大招更有效。
接下来，陈光远、宋颜教授和周工、刘工、赵工正式制定了详细的时间表。
“十一月底前，工作台机械部分完成十套零件的加工和初装配。”周工在笔记本上记录。
“十二月中旬前，电力稳压滤波系统安装到位，完成初步调试。”赵工写下时间节点。
“明年一月底前，光刻机整机完成第一次集成调试。”陈光远定下关键里程碑，“二月初开始工艺试验，用测试图形验证五微米工艺的稳定性和成品率。”
“三月开始正式流片。”宋颜教授接上，“四块芯片，每块至少流片三批次，每批次二十片。从中筛选出性能合格的芯片，进行封装和测试。”
窗外，天色渐暗。
晚上七点，食堂送来了晚饭。
简单的玉米窝头、白菜炖豆腐、小米粥，还有一小碟咸菜。
众人就着会议桌，匆匆吃完，继续讨论。
晚上九点，初步方案和时间表终于成形。
众人走出主楼，深秋的夜风扑面而来，带着松针和泥土的气息。
天空中没有月亮，只有几颗稀疏的星，在遥远的夜空中闪烁。
陈光远送宋颜教授三人到招待所门口。
“宋教授，今天这个会，开得好啊。”陈光远感慨，“把大家从‘追求完美’的牛角尖里拉了出来，找到了切实可行的路。”
宋颜教授微笑道：“这要感谢你们长光所的务实态度。科研最怕好高骛远，脚踏实地才能走远。”
“是啊。”陈光远望向黑暗中的实验楼，那里还有几扇窗户亮着灯，“我们这些人，总想着为国家造出最先进的东西。但有时候，最先进的不一定是最适合的。先把能造的东西造出来，用起来，在应用中改进、升级——这可能才是咱们现阶段最该走的路。”
吕辰静静地听着，心中涌起复杂的情绪。
这就是中国科技发展的真实写照。
没有捷径，没有奇迹，只有一步一个脚印的积累，只有面对现实、解决问题的智慧。
他内心激动，忍不住说道：“陈所长，我始终认为，咱们现在做的这些事，很多年后，会被人写进历史书里！”
陈光远笑道：“年轻人了不起，能用历史的眼光看问题，这是你最宝贵的品质，不过，历史是后来者书写的。对身处其中的我们来说，最重要的不是创造历史的荣耀，而是解决眼前问题的责任。”
说完拍了拍吕辰的肩膀，对宋教授说：“刘教授找了个好弟子啊，小谢也是思维缜密、基础扎实，你们红星所当真是英材济济，难怪能取得如此成就！”
宋教授笑道：“陈所别折了小辈，他们要学的还很多，以后难免要陈所多多关照。”
“哈哈，应该的！”陈光远道。